臺灣半導體產(chǎn)業(yè)將受沖擊

面對即將到來的變革，臺灣卻沒有做好準備。臺灣倚仗的半導體業(yè)，由于制程精細，若出現(xiàn)單位制度上的誤差，很可能影響良率。

《中國時報》報道稱，若無法在明年跟上最新制度，對半導體業(yè)恐造成影響，因為化學溶液量測誤差會導致降低良率。提升檢測設備的費用高達6億臺幣，“經(jīng)濟部標檢局”目前經(jīng)費仍無著落。

隸屬臺灣“經(jīng)濟部”的“國家度量衡標準實驗室”傳出消息，目前仍籌不到經(jīng)費，無法跟進，千克量測校正標準將降為二級。這樣一來，將沖擊講求精準度的“納米”晶圓制程校正，生產(chǎn)機器、設備校正都會受影響，因國際標準拉高，相對地，臺灣半導體良率會被拉低。

臺灣標檢局官員指出，四項改變中最重要的是“千克”定義的改變。臺灣1995年引進IPK，放在新竹工研院的“國家度量衡研究室”。由于“經(jīng)濟部標檢局”面臨“無錢可編”的窘境，將無法在明年跟上國際腳步。而在半導體制程中，晶圓表面的清洗、蝕刻與研磨皆要仰賴特定化學溶液，這些化學溶液量測如果有一點點誤差，都會影響良率。

以先進的臺積電與聯(lián)電晶圓制程來說，良率均高達95%，新標準改變將被拉低多少良率?據(jù)臺灣標檢局官員分析，這將視不同生產(chǎn)線與產(chǎn)品而定，但千克新標準會比舊的精準2到4倍，將有一定程度影響。

大陸做好準備了嗎？

那么，面對明年的計量變革，大陸做好準備了嗎?可以說，關鍵技術已經(jīng)有了突破。

據(jù)中國計量網(wǎng)報道，今年3月，由中國計量院承擔的國家質(zhì)檢總局科技計劃項目“高準確度真空質(zhì)量測量系統(tǒng)的建立”項目通過驗收。項目首次在我國建立了最大量程1kg的高準確度真空質(zhì)量測量裝置，真空質(zhì)量測量重復性、靈敏度達到國際先進水平，成功解決了2018年國際質(zhì)量單位千克重新定義后質(zhì)量量值傳遞技術關鍵問題。

由于未來的質(zhì)量單位將在真空中實現(xiàn)，而日常生活的質(zhì)量工作標準——砝碼仍是在空氣中使用的，這給質(zhì)量量值的傳遞方式帶來了一系列問題——除了需要將保存在真空中的質(zhì)量標準傳遞到空氣中外，還必須對環(huán)境參數(shù)進行測量和實時修正。

從2013年起，中國計量院圍繞質(zhì)量單位新定義之后質(zhì)量量值傳遞關鍵技術開展了系列研究。經(jīng)過多年努力，項目組在真空質(zhì)量測量、真空質(zhì)量標準的傳遞，以及異型砝碼表面吸附測量和修正等方面取得了一系列創(chuàng)新成果，建立了測量靈敏度優(yōu)于0.1μg、滿載重復性優(yōu)于0.47 μg、測量擴展不確定度25 μg(k=2)的高準確度真空質(zhì)量測量裝置;形成了不同材料砝碼表面吸附率測量、不確定度評估和吸附修正，空氣密度測量，砝碼交換稱量等一系列具有自主知識產(chǎn)權的技術。

項目建立的高準確度真空質(zhì)量測量裝置成功解決了砝碼真空質(zhì)量測量時系統(tǒng)穩(wěn)定性和保持高真空度之間的矛盾;采用的非接觸式分子泵散熱方法和多點位多參數(shù)循環(huán)監(jiān)測方法，顯著提高了裝置的測量重復性和穩(wěn)定性。此外，項目還實現(xiàn)了多種砝碼表面吸附與其逆過程的精確分析，吸附測量擴展不確定度0.0011 μg/cm2(k=2)，達到了國際先進水平。

科學家早已開始行動，不過，相比臺媒的先知先覺，對世界測量技術規(guī)則的改變，相關產(chǎn)業(yè)如何應對，截止觀察者網(wǎng)發(fā)稿，大陸主流媒體并未進行專門報道和宣傳。【文/ 觀察者網(wǎng) 孫武】