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近日，毅達(dá)資本領(lǐng)投湖南德智新材料有限公司（簡稱：德智新材）新一輪融資。

德智新材是一家專業(yè)從事碳化硅納米鏡面涂層及陶瓷基復(fù)合材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)。公司致力于高制程半導(dǎo)體生產(chǎn)關(guān)鍵耗材的生產(chǎn)，擁有國內(nèi)領(lǐng)先的技術(shù)、設(shè)備和高水平研發(fā)團(tuán)隊(duì)，是國內(nèi)頭部的SiC（學(xué)名:碳化硅）涂層石墨基座、SiC蝕刻環(huán)供應(yīng)商。

SiC涂層石墨盤穩(wěn)定性要求高，其可靠性直接影響晶圓外延生長的一致性和良率。由于技術(shù)壁壘極高，該產(chǎn)品長期被美、日、德等國家所壟斷。2020年，德智新材自主設(shè)計(jì)的國內(nèi)最大化學(xué)氣相沉積設(shè)備正式投入使用，SiC涂層石墨基座順利實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，成為國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)突破國外技術(shù)壟斷的關(guān)鍵產(chǎn)品之一。

蝕刻環(huán)是半導(dǎo)體蝕刻工藝的重要耗材。高制程工藝由于離子能量大，對(duì)蝕刻環(huán)的要求也更高，SiC蝕刻環(huán)由于壽命和穩(wěn)定性遠(yuǎn)超傳統(tǒng)的石英蝕刻環(huán)，是這一環(huán)節(jié)必不可少的核心耗材。但是SiC蝕刻環(huán)對(duì)材料純度要求極高，過去完全被少數(shù)海外巨頭壟斷。德智新材采用自主研發(fā)的CVD設(shè)備生長SiC本體，再進(jìn)行精密加工成形，突破了這一技術(shù)難關(guān)。目前，德智新材半導(dǎo)體用SiC蝕刻環(huán)項(xiàng)目已率先在國內(nèi)實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)交付。

從行業(yè)發(fā)展趨勢來看，SiC涂層材料性質(zhì)穩(wěn)定、且耐高溫和腐蝕，在半導(dǎo)體耗材領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，未來50%以上耗材會(huì)應(yīng)用SiC涂層。隨著國內(nèi)先進(jìn)制程的快速迭代和突圍，SiC涂層石墨基座以及SiC蝕刻環(huán)等關(guān)鍵耗材的市場空間還將不斷增長。

毅達(dá)資本投資總監(jiān)徐杰表示，半導(dǎo)體設(shè)備零部件及關(guān)鍵耗材供應(yīng)鏈不完善是中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)屢遭“卡脖子”重要原因。近幾年國內(nèi)本土半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展迅速，對(duì)上游供應(yīng)鏈的安全和穩(wěn)定提出了新的要求。作為半導(dǎo)體加工環(huán)節(jié)的關(guān)鍵耗材提供商，德智新材潛心研究，在技術(shù)上率先實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)突破，成功進(jìn)入國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)龍頭的供應(yīng)商名錄。期待公司未來繼續(xù)攻堅(jiān)克難，不斷打造標(biāo)桿性核心產(chǎn)品，助力國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展。