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近日，毅達資本領投湖南德智新材料有限公司（簡稱：德智新材）新一輪融資。

德智新材是一家專業(yè)從事碳化硅納米鏡面涂層及陶瓷基復合材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術企業(yè)。公司致力于高制程半導體生產(chǎn)關鍵耗材的生產(chǎn)，擁有國內(nèi)領先的技術、設備和高水平研發(fā)團隊，是國內(nèi)頭部的SiC（學名:碳化硅）涂層石墨基座、SiC蝕刻環(huán)供應商。

SiC涂層石墨盤穩(wěn)定性要求高，其可靠性直接影響晶圓外延生長的一致性和良率。由于技術壁壘極高，該產(chǎn)品長期被美、日、德等國家所壟斷。2020年，德智新材自主設計的國內(nèi)最大化學氣相沉積設備正式投入使用，SiC涂層石墨基座順利實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，成為國內(nèi)半導體行業(yè)突破國外技術壟斷的關鍵產(chǎn)品之一。

蝕刻環(huán)是半導體蝕刻工藝的重要耗材。高制程工藝由于離子能量大，對蝕刻環(huán)的要求也更高，SiC蝕刻環(huán)由于壽命和穩(wěn)定性遠超傳統(tǒng)的石英蝕刻環(huán)，是這一環(huán)節(jié)必不可少的核心耗材。但是SiC蝕刻環(huán)對材料純度要求極高，過去完全被少數(shù)海外巨頭壟斷。德智新材采用自主研發(fā)的CVD設備生長SiC本體，再進行精密加工成形，突破了這一技術難關。目前，德智新材半導體用SiC蝕刻環(huán)項目已率先在國內(nèi)實現(xiàn)了量產(chǎn)交付。

從行業(yè)發(fā)展趨勢來看，SiC涂層材料性質(zhì)穩(wěn)定、且耐高溫和腐蝕，在半導體耗材領域應用廣泛，未來50%以上耗材會應用SiC涂層。隨著國內(nèi)先進制程的快速迭代和突圍，SiC涂層石墨基座以及SiC蝕刻環(huán)等關鍵耗材的市場空間還將不斷增長。

毅達資本投資總監(jiān)徐杰表示，半導體設備零部件及關鍵耗材供應鏈不完善是中國半導體產(chǎn)業(yè)屢遭“卡脖子”重要原因。近幾年國內(nèi)本土半導體設備發(fā)展迅速，對上游供應鏈的安全和穩(wěn)定提出了新的要求。作為半導體加工環(huán)節(jié)的關鍵耗材提供商，德智新材潛心研究，在技術上率先實現(xiàn)國產(chǎn)突破，成功進入國內(nèi)半導體行業(yè)龍頭的供應商名錄。期待公司未來繼續(xù)攻堅克難，不斷打造標桿性核心產(chǎn)品，助力國內(nèi)半導體設備行業(yè)發(fā)展。